『殷瓦精密股份有限公司』已於 2025/6 月起正式更名為『旭恆精密股份有限公司』,公司更名後之組織架構、投資人關係及聯繫方式皆無變動
FMM (Fine Matel Mask) 是 OLED 顯示器製程中的關鍵耗材,OLED 面板中的蒸鍍製程須藉由FMM 控制 R / G / B 三種色彩的排列方式及解析度,FMM 開口的尺寸及準確度對於OLED面板的產出良率有直接的關聯性。
旭恆精密採用電鑄 (加法製程) 生產的 FMM 金屬遮罩,獨家的電鑄鎳鐵合金 (Electro-formed Ni-Fe Alloy) 技術,相較於化學蝕刻製程的產品,有更好的尺寸精度及均勻性。
當產品的應用達到 Micro 等級時,材料的漲縮率對於製程穩定性是至關重要的,旭恆精密所開發的電鑄 Ni-Fe 合金是業界唯一不需經過退火製程 (Annealing),於面板蒸鍍的作業溫度下,CTE 可達 4~5 ppm/C 的合金薄膜,符合蒸鍍玻璃及柔性基材之製程要求。
電鑄製程 FMM 開口尺寸具有優於蝕刻製程的穩定性及均齊性,且在基材側的開口沒有 Shadow 區,大幅降低蒸鍍時混色及膜暈現象。
K 值是 FMM 張網時拉伸形變上之關鍵指標,旭恆生產的 FMM 拉伸形變量接近目前壓延的INVAR,符合上線的拉伸精準度需求。
旭恆精密採用電鑄技術生產的 FMM 具有較小的內應力,故在拉伸張網前/後,都有較佳的平整性表現。
OLED 蒸鍍製程係利用上方的電磁鐵將基板與 FMM 在對位後緊密且平整貼附,以確保蒸鍍時有機發光體靶材不會於兩者間堆積造成不良,旭恆精密的電鑄 FMM 磁導率可符合上線的標準。